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圓柱單模腔通過激勵，在圓柱形腔體內(nèi)，激發(fā)單一圓柱TM01模式分布，微波電場為360?圓周對稱發(fā)散式分布，特別適合宏量物料微波處理，適合插入式反應(yīng)床、盤管連續(xù)流、以及依賴于單模金屬腔體的高溫高壓密封技術(shù)“超級微波”產(chǎn)品。

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環(huán)形單模根據(jù)裂縫天線技術(shù)，設(shè)計而成的環(huán)繞腔結(jié)構(gòu)，在一定尺寸結(jié)構(gòu)的條件下形成中心聚焦的單模結(jié)構(gòu)，微波電場均水平指向中心，從而在中間實現(xiàn)能量聚焦，特別適合小量微量級別的微波處理，例如制藥和精細化工領(lǐng)域。

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矩形單模腔通過激勵，在矩形腔體內(nèi)，激發(fā)單一矩形TE10模式分布，微波電場為垂直峰狀分布，與物料放置狀態(tài)一致，特別適合超高微波能量物料處理工藝，適合激發(fā)微波等離子工藝，以及高介電常數(shù)物料的極速升溫。
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單模腔因為單一模式，體積受到局限，工藝中為了放大處置物料的空間，可以采用較低頻率的微波源做激勵源，例如采用915MHz頻率的圓柱單模腔，其空間可以增大到40L，足以容下較大尺寸的反應(yīng)器系統(tǒng)（例如圖示6位平行消解罐系統(tǒng)）。

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